超越半导体制程的极限：极紫外光微影 （二集之一）

手机的发展已为用户带来极大便利，但这么小的装置怎么会有如此多功能？答案是它精细的「大脑」：一系列晶片。每个晶片内有大量密集的电路元件，可容纳数十亿的电晶体，大小约头发宽度的千分之一到万分之一，这些电路是如何制成的呢？答案是通过「微影」。本节目为我们介绍了先进的下一代微影技术：极紫外光微影。